Article

Contribution à la résolution du problème direct en scatterométrie par réseaux de neurones


G. SAKA, Institut Universitaire Polytechnique de Mongo, BP 4377, Tchad
R. STHEPHANE, Université de Lyon, F-42023 Saint-Etienne, France et Université de Saint-Etienne, Jean Monnet, F-42000 Saint-Etienne, France, LT2C EA3523
N. LAMAI, Institut Universitaire des Sciences et Techniques d’Abéché, BP130 Abéché, Tchad
G. FRANK, Université de N’Djaména, Faculté des Sciences Appliquées et Exactes, N’Djaména, Tchad
T. BIENZEUBE, Institut Universitaire Polytechnique de Mongo, BP 4377, Tchad
MB. JEROME, Institut Universitaire Polytechnique de Mongo, BP 4377, Tchad

Date de publication : 1 mars 2015

Résumé

Le travail consiste à résoudre le problème direct par réseaux de neurones(PMC). Au départ ce problème se résolvait par la méthode modale par développement de Fourier. Pour notre étude, La résolution de ce problème consiste à la détermination de la signature scatterométrique théorique d’un réseau périodique (intensités lumineuses) connaissant certains paramètres (dimensions géométriques, indices des matériaux, période et la longueur d’onde, etc.). L’étude est de créer un RN et de lui fournir les dimensions du profil et de déterminer les intensités lumineuses (Is et Ic), puis comparer les signatures calculées par la MMMFE et le RN, en calculant l’erreur quadratique et tracer les courbes de comparaison de ces signatures.



Pour citer cet article

G. SAKA, R. STHEPHANE, N. LAMAI, G. FRANK, T. BIENZEUBE et MB. JEROME. «Contribution à la résolution du problème direct en scatterométrie par réseaux de neurones». Afrique Science, Vol.11, N°2 (2015), 1 mars 2015, http://www.afriquescience.info/document.php?id=4434. ISSN 1813-548X.